高新電子芯片廠房百級防護潔凈室成套施工技術

　1 概 述 　　隨著我國產業結構的調整和高新技術產業的迅猛發展，微電子、光電通訊、生物制藥、精細化工、精密儀器等一批新型生產企業的建立，其研制、生產所需的潔凈廠房的規模越來越大，要求越來越高，對施工企業的技術、工藝與管理也提出了新的要求。 
　　2 施工工藝流程及施工步驟 
　　2.1 工藝流程 
　　4.2 施工步驟 
　　4.2.1、土建施工 
　　同FRP模板施工步驟。 
　　4.2.2、潔凈廠房裝飾施工 
　　在潔凈室建筑裝飾施工過程中，必須隨時清掃灰塵，對隱蔽空間（如吊頂和夾墻內部等）還應做好清掃記錄。 
　　應保護已完成的裝飾工程表面，不得因撞擊、敲打、踩踏、多水作業等造成板材凹陷、暗裂和表面裝飾的污染。 
　　對已安裝高效過濾器的房間，不得進行有粉塵的作業。 
　　密封膠嵌固前，應將基槽內的雜質、油污剔除干凈，并保持表面干燥。 
　　潔凈室臨時設置的設備入口不用時應封閉，防止塵土雜物進入。 
　　施工現場應保證良好的通風和照明。 
　　防靜電地板施工 
　　首先清理地面。觀察房間的布局，安裝好紅外線水平掃描儀，在四周的墻面上打好半腰水平，然后找出房間的最低點和最高點，計算地面到板面的平均值（此平均值等于設計要求的安裝高度600mm），計算并調節好支架高度。 
　　沿著基準排，逐排鋪設大面地板。將腳架擺放于相應位置，一般區腳架為Φ48，加強區腳架為Φ60。利用鐳射儀調整上基座至接近地板下之高度位置(粗平)。 
　　腳架調平后,開始抹膠,膠應均勻地涂抹于底盤上。 
　　將抹好膠的腳架置于地面之同時,擺放縱橫向的橫梁.一般區為25×25×558的門形橫梁.加強區為25×25×558方形橫梁且中間加一支25×25×776的加強斜梁。 
　　鎖橫梁螺絲。 
　　敲導電墊片。 
　　鋪地板,借助地板本身標準尺寸600×600mm，按施工圖上的不同型號地板,逐片擺放地板,利用鐳射儀調整上基座.使地板表面高度與水平標高線相平(精平).在大面施作時，每50mm排需用經緯儀檢驗X、Y軸之垂直適合位移，隨時進行調整修正。 
　　收邊處理 
　　膨脹螺絲的施工 
　　當大面施作48小時后，其膠已凝固，便可安排一組人力進行膨脹螺絲施工。在鉆孔時，邊鉆孔邊吸塵，每一支腳架對角安裝兩顆M6×46的膨脹螺絲。 
　　接地線施工 
　　先剪一段約15cm長的裸銅線與端子連接。 
　　將端子連接頭以螺絲固定于下基座的接地頭上。 
　　將橫向及縱向之Φ2裸銅線間隔1.2m,以套管連接于端子上固定．便形成一個導電網，將導電網與建筑物的接地箱連接。 
　　凈化空調系統施工 
　　風管和部件的板材應按設計要求選用，采用優質鍍鋅鋼板。 
　　風管不得有橫向拼接縫，盡量減少縱向拼接縫。矩形風管底邊寬度等于或小于800mm時，其底邊不得有縱向拼接縫。 
　　風管板材的拼接采用單咬口；圓形風管的閉合縫采用單咬口，彎管的橫向縫采用立咬口；矩形風管轉角縫采用轉角咬口、聯合角咬口或按扣式咬口。上述咬口縫處都必須涂密封膠或貼密封膠帶。 
　　風管內表面必須平整光滑，不得在風管內設加固框及加固筋。 
　　風管應按按表要求刷涂。刷涂前必須除去鋼板表面油污和鐵銹，干燥后再刷涂。涂層應無漏涂、起泡、露底現象。 
　　加工鍍鋅鋼板風管應避免損壞鍍鋅層，損壞處（如咬口、折邊、鉚接處等）應刷涂優質涂料兩遍。 
　　柔性短管應選用柔性好、表面光滑、不產塵、不透氣和不產生靜電的材料制作，光面向里。接縫應嚴密不漏風，其長度一般取150-250mm。安裝完畢后不得有開裂或扭曲現象。 
　　金屬風管與法蘭連接時，風管翻邊應平整并緊貼法蘭，寬度不應小于7mm，翻邊處裂縫和孔洞應涂密封膠。 
　　法蘭螺釘孔和鉚釘孔間距不應大于100mm。矩形法蘭四角應設螺釘孔。螺釘、螺母、墊片和鉚釘應鍍鋅。不得選用空心鉚釘。 
　　中效過濾器后的送風管法蘭鉚釘縫處應涂密封膠，或采取其他密封措施。涂密封膠前應清除表面塵土和油污。 
　　系統安裝 
　　法蘭密封墊應選用彈性好、不透氣、不產塵的材料，嚴禁采用乳膠海綿、泡沫塑料、厚紙板、石棉繩、鉛油、麻絲以及油氈紙等含開孔孔隙和易產塵的材料。密封墊厚度根據材料彈性大小決定，一般為4-6mm。一對法蘭的密封墊規格、性能及厚度應相同。嚴禁在密封墊上刷涂涂料。 
　　法蘭密封墊應盡量減少接頭。接頭采用階梯形或企口形，并涂密封膠，如圖所示。密封墊應擦拭干凈后，涂膠粘牢在法蘭上，不得有隆起或虛脫現象。法蘭均勻壓緊后，密封墊內側應與風管內壁相平。 
　　風管上成對法蘭的擰緊力矩要大小一致，安裝后不應有松緊不勻的現象。 
　　經清洗干凈包裝密封的風管及其部件，安裝前不得拆卸。安裝時拆開端口封膜后，隨即連接好接頭；如安裝中間停頓，應將端口重新封好。 
　　風閥、消聲器等部件安裝時必須清除內表面的油污和塵土。 
　　風閥的軸和閥體連接處縫隙應有密封措施，閥的各部分（包括外框、活動件、固定件及連接螺釘、螺帽、墊片等）表面應做鍍鉻、鍍鋅或噴塑處理，葉片及密封件表面應平整、光滑，葉片開啟角度應有明顯標志。 
　　高效過濾器安裝施工 
　　高效過濾器安裝前，必須對潔凈室進行全面清掃、擦凈，凈化系統內部如有積塵，應再次清掃、擦凈，達到清潔要求。如在技術夾層或吊頂安裝高效過濾器，則技術夾層或吊頂內也應進行全面清掃、擦凈。 
　　潔凈室及凈化空調系統達到清潔要求后，凈化空調系統必須試運轉。連續運轉12h以上，再次清掃、擦凈潔凈室后立即安裝高效過濾器。 
　　安裝高效過濾器的框架要平整，每個高效過濾器的安裝框架平整度允許偏差不大于1mm。 
　　高效過濾器和框架之間的密封采用密封墊和雙環密封，要求把填補表面，過濾器邊框表面和框架表面及液槽擦拭干凈。 
　　高效過濾器擴散板的安裝 
　　高效過濾器安裝完畢后，既進行擴散板的安裝。 
　　擴散板安裝前應用清水進行徹底清洗，注意清洗后不要用毛巾等易產塵、積塵的棉織物擦干，而應自然風干；也可清洗后未待風干直接安裝。 
　　擴散板安裝后要求做到平整、美觀、牢固。 
　　空調器安裝 
　　安裝空調器時應對設備內部進行清洗、擦拭，除去塵土、雜物和油污。 
　　設備檢查門的門框應該平整，密封墊應符合設計對法蘭密封墊的要求。 
　　凈化空調系統的空調器接縫應做密封處理，安裝后應進行密封檢查，其方法按附錄四“空調器漏風率檢測法”進行檢漏、堵漏，測量其漏風率。測量漏風率時，空調器內靜壓保持1000Pa。潔凈度等于或高于1000級的系統，空調器漏風率不應大于１％；潔凈度低于1000級的系統，空調器漏風率不應大于2%。 
　　過濾器前后必須裝壓差計，壓差測定管應暢通、嚴密、無變形和裂縫。 
　　表冷器冷凝水排出管上應設水封裝置和閥門，在無冷凝水排出季節應關閉閥門，保證空調器密閉不漏風。 
　　3 質量控制措施 
　　3. 1、潔凈度 
　　一百級：≥0.5μm的塵埃顆粒數≤3.5顆/L； 
　　≥5μm的塵埃顆粒數≤0.0顆/L； 
　　3.1.2、室內噪聲 
　　≤65dB（A）單向流，采用ND－12聲級器檢測； 
　　≤60dB（A）非單向流，采用ND－12聲級器檢測； 
　　3.1.3、室內壓差 
　　≥5－10MPa，采用YYT－200B斜管壓差計檢測； 
　　3.1.4、室內溫度 
　　按設計要求±2℃。 
　　3.1.5、室內濕度 
　　按設計要求±5％。 
　　3.1.2、測試方法 
　　3.1.2.1、高效過濾器檢漏－粒子計數器法。 
　　A、被檢測高效過濾器必須已測過風量，在設計風速的80％－120％之間運行； 
　　B、在被檢測高效過濾器上風測定大氣塵的微粒數，以大于或等于0.5μm微粒為準其濃度必須大于或等于3.5×104粒/L。 
　　C、檢漏時采樣口放在距離被檢測過濾器表面20－30mm處，以5－20mm/s的速度移動，對被檢測過濾器整個表面，封頭膠和安裝框架進行掃描。 
　　3.1.2.2、靜壓差測定 
　　A、靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行，并應從平面上最里面的房間依次向外測定。 
　　B、對于潔凈度高于100級的單向流（層流）潔凈室，還應測定在門開啟狀態下，離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數。 
　　3.1.3、室內潔凈度的測定 
　　測點的分布多于5點時可分層布置，但每層不少于5點。 
　　5點或5點以下時，可布置在離地0.8m高平面的對角線上或該平面上的兩個過濾器之間的地點。 
　　3. 4、室內噪聲的測定 
　　3. 4.1、測噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計。一般只測4聲級的數值。 
　　3. 4.2、測點位置：面積＜15m2，室中心1點，測點高度距地面1.1m。 
　　3. 5、照明的檢測 
　　3. 5.1、室內照度可用便攜式照度計測定。 
　　3. 5.2、室內照度必須室溫已趨向穩定、光源光輸出趨于穩定后進行。 
　　3. 5.3、潔凈室照度只測定除特殊局部照明之外的一般照明。 
　　3. 5.4、測點平面距地面0.8m，按1-2m間距布置，測點距離墻面1m（小面積房間為0.5m）。 
　　根據以上檢測數據，出具相關檢測報告，作為竣工資料。 
　　3. 5.5、應根據潔凈度級別的高低按下表的規定進行。 
　　4 施工環境保護要求 
　　4.1、成立施工現場環境衛生管理機構，在工程施工中嚴格遵守國家和地方政府下發的有關環境保護的法律、法規和規章制度。加強對工程材料、設備、廢水、生產生活水平垃圾、棄渣等的控制和治理，遵守有防火和廢棄物處理的規章制度。 
　　4.2、規范施工現場的場容，保持作業環境的整潔衛生。 
　　4.3、減少施工對周圍環境的影響，保證職工的安全和身體健康。 
　　4.4、機械停放或行走不得侵占場內道路，保證施工道路暢通，排水系統處于良好狀態，保持場容場貌整潔隨時清理建筑垃圾。 
　　5 結 論 
　　(1) 本文結合工程實踐，研究了百級防護潔凈室施工工法及施工質量保證措施，為這類工程項目積累了一整套施工技術和經驗。 
　　(2) 先后將百級防護潔凈室施工工法應用于四項電子芯片廠房尤其是成都成芯半導體制造有限公司八英寸芯片廠房無塵室模板的施工中，確保了工程質量和進度，保證了質量、安全，而且得到了建設單位、設計單位、監理單位以及同行業專家的好評。 
　　(3) 百級防護潔凈室施工工法體現了技術先進、經濟合理、有效縮短工期、適應環保要求，取得了良好的經濟效益和社會效益，具有良好的市場發展潛力。