針對多晶硅項目潔凈廠房施工技術總結

潔凈技術的現狀及發展趨勢

1.1.  潔凈室凈化原理

1.1.1. 潔凈廠房內不允許有存積灰塵的地方。

1.1.2. 凈化程序  氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→通風管道→高效過濾器→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效凈化。重復以上過程，即可達到凈化目的。

1.1.3. 凈化參數

1)  換氣參數 100000≧15次，1000≧30次

2)  壓差  主車間相鄰房間≧5Pa

3)  溫度  冬季﹥16℃±2℃  夏季﹤26℃±2℃

4)  濕度  45%～65%

5)  噪聲≤65Db（A）

6)  新風補風量為總風量的10%～30%

潔凈技術需要有潔凈廠房和潔凈設備來支撐，潔凈室是潔凈廠房的核心。

1.2.  潔凈廠房是指生產工藝有空氣潔凈要求的廠房。潔凈廠房是一個系統工程，它由空調機、供熱、供冷、送回風管、過濾、自控等系統組成。潔凈級別要求高的，還有風機過濾單元（FFU）、局部層流罩、墻板、地面組成。

1.3.  潔凈技術的應用領域

1.3.1. 主要應用領域：電子、制藥、醫療、衛生、食品、化妝品和軍工。

1.3.2. 中國電子信息產業的高速發展為潔凈技術在國內的普及創造了新機遇。

1.3.3. 蓬勃發展的中國醫藥行業為潔凈行業拓寬了市場，GMP《藥品生產管理規范》是藥品生產的質量保證，它體現了對藥品生產的全過程控制的要求，對生產中影響質量的主要因素提出了基本控制要求，產品的生產質量是靠潔凈技術來保證的。醫療衛生事業的發展也要求潔凈手術室的需求量必須增加。

1.4.  潔凈廠房的結構材料

1)  凈化廠房墻、頂板采用75mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。

2)  圓弧墻角、門等采用專用氧化鋁型材制造。

3)  地面采用環氧自流坪，保證潔凈室潔凈度。

4)  送回風管采用熱鍍鋅鋼板制作。

5)  高效送風采用不銹鋼框架，美觀清潔；沖網板采用烤漆鋁板，不生銹、不產塵、易清潔。

1.5.   潔凈廠房發展趨勢

越來越多的工業部門都必須在潔凈的環境下實現某些類型的生產工藝，潔凈技術的典型應用開始于化工，藥品生產，精密機械制造、光學、微電子，現在其它許多新興工業部門應用，如微系統技術、生物技術、傳感器技術、仿生學，在所有這些生產領域，對產品質量的要求一直在增加。對潔凈生產環境的要求也是如此，即使是由各種不同德因素造成的最小污染，也會導致高比例的有缺陷產品、廢品，因此，必須將影響質量的環境因素降至最低，保證優化生產工藝成本，同時使合格產品的產出達到最大，廢品最少。

潔凈技術的發展呈現如下明顯的趨勢：

1)  在已采用潔凈室技術的生產中，各部分對潔凈技術的要求在增加。

2)  對越來越多的公司、工業部門和產品而言，潔凈廠房已成為其一個組成部分。

3)  潔凈產品的生產廠商將他們對潔凈度的要求轉移到所有原材料生產上，所有供貨商也不得不采用潔凈生產技術。

4)  技術要求的復雜性越來越高，技術合作應運而生。

5)  在技術保障中應用潔凈技術。

采用潔凈廠房作為生產技術環境的質量保障，已為許多產品和工藝所必須的。質量越來越成為高技術產品競爭中的關鍵因素，潔凈技術因此也成為一項不可缺的技術。

 

施工過程質量控制要點

2.1.   施工質量控制的主要方面

重視施工組織設計的審查，重點審查風管預制程序及做法是否符合施工規范要求及工程特點、潔凈室細部做法，空調機安裝實施方案，初、中、高效過濾器安裝能否保證潔凈要求，尤其是高效過濾器的安裝程序。其次就是潔凈廠房大面積地坪施工防裂措施。

2.2.   施工過程質量控制要點

2.2.1. 對進場材料設備的驗收程序一定要嚴格把關，這是第一步；風管材質要符合設計要求，對原材脫脂工序堅持全檢。

2.2.2. 地坪施工時防止大面積地坪出現裂縫，導致環氧自流坪開裂，破環潔凈廠房的潔凈度及美觀。在大面積回填夯實時嚴格保證施工質量，杜絕回填質量失控。施工時將新老混凝土結構層沖洗干凈，避免出現局部空鼓、開裂。

2.2.3. 風管預制主要注意控制制作環境、加工儲存的環境和加工部件的清潔及密封。

2.2.4. 潔凈廠房風管的安裝必須保證有一個清潔的環境，并且在管道、電氣、風管及土建施工必須按照一個合理的程序進行施工，才能保證風管安裝后的潔凈性和嚴密性。

2.2.5. 空調機組的試運轉要脫開風管系統，漏風量測試。

2.2.6. 潔凈室壁板除檢查平整度、垂直度外，主要控制密封狀況，包括門窗的密封，水電氣孔洞密封，以及表面清潔要使用無脫落纖維織物搽拭。

2.2.7. 交叉施工，主要是自流坪施工，潔凈廠房一定要防止施工過程產生的二次污染。自流坪地面施工，有對地坪打磨的工序，要使用自身帶吸塵裝置的打磨機。自流坪地面面層施工要掌握好時機，做早了交叉施工易造成損傷。

2.2.8. 高效過濾器安裝。安裝前風管要先行吹掃，過濾器必須進行檢漏試驗，必要時全面檢驗，這是保證潔凈度的關鍵工序。安裝過程要符合規范要求。

2.2.9. 施工過程中人員流動、工器具搬移和操作人員著裝要實行嚴格管制。第九凈化廠房地面平整度要求較高。 FFU噪聲是質量控制的一個難點，規范規定房間噪音應小于等于65分貝，主要是要選好廠家，并重視安裝過程中隔振措施。噪音過大操作人員長時間工作會造成損傷。

2.2.10.    普通空調房間送風口散流器及回風口選型也是重點，質量差的，風速大時易引起振動造成噪音。

2.2.11.  凈化廠房的風管及各種管線、橋架都設置于技術夾層內，由于檢查不便，往往形成死角，特別要注意各種管線的標高，作業前先進行圖上復核，然后實地復驗，以便及早發現管線交叉打架。

2.2.12.  技術夾層及技術夾道密封膠封閉，夾道在封閉前將雜物清理干凈。

 

潔凈廠房給排水管道安裝

3.1.  潔凈廠房給排水安裝的一般規定

3.1.1. 潔凈廠房內的給水及排水干管應敷設在夾層內，引入潔凈室的支管應明敷。

3.1.2. 管道穿過結界室吊頂時頂棚墻壁和樓板處應設套管，管道于夾套管之間采用可靠的密封措施。

3.1.3. 消防箱的安裝與潔凈版施工相互配合，才能保證工期，而且保證消防箱安裝的美觀，實用。

3.1.4. 施工中的問題及處理：

3.1.5. 管道的預留洞位置被設備擋住及不合理，需重新打洞

3.1.6. 現場安裝主管，避免預制的管道因不合適而出現返工的情況發生。

3.1.7. 消防箱安裝后，因施工區域人員復雜，造成箱體損壞，部分箱體生銹，進行除銹刷油漆

 

潔凈廠房通風空調系統施工

近年來，潔凈空調在科研、醫療、高科技產品生產、實驗室以及電子產品、精密儀器生產領域的使用已越來越廣泛。隨著潔凈空調使用范圍的不斷擴大，潔凈度的等級也在提高。潔凈空調系統的技術要求、施工質量要求高，投資大，一旦失敗，無論從財力、物力、人力上講都會造成浪費，因此要搞好潔凈空調系統，除完善的設計圖紙以外，還要求高質量高水平的施工。潔凈廠房廣泛應用于醫藥、食品、生物工程、電子、航空、航天領域。隨著科學技術的進步、產品質量的提高、電子、航空、航天產業對潔凈廠房的需求越來越多，要求越來越高。

4.1.  主要工藝流程及主要操作要點

現場準備→材料進場驗收→板材清洗→板材劃線→裁剪下料→咬口成形→法蘭鉚接→風管對口堆放→風管安裝前擦洗→風管安裝→現場安裝后保護。

4.2.  主要工序控制要點

4.3.  現場準備

凈化風管的制作，一般可分為工廠集中制作和施工現場制作兩種方式。無論采取那種預制方式，制作場地均要求封閉、清潔，地面為水泥地面或鋪設金屬鋼板，面積一般不小于100m²，且采光、照明條件良好，同時應有足夠的風管堆放場所。大群多晶硅項目一期及一期擴建均采用在預制廠能制作風管。

4.4.   材料進場檢驗

凈化系統風管如采用鍍鋅鋼板預制時，鍍鋅層為100號以上的經檢查鍍鋅板表面應無明顯劃痕和氧化、銹蝕斑點。

4.5.   板材表面清洗

需要下料制作風管的板（卷）材，用對材質表面無損傷的清洗液進行清洗，去除材質表面的油污和積塵，用清潔水清洗掉材質表面的清洗液，并用干凈棉布（紗）將水液擦掉，待其完全干燥后架空待用。

4.6.   板材放樣劃線

板材放樣劃線時，要防止損傷板材表面，應使用不生塵的色筆劃線，放樣前應考慮盡可能減少風管的縱向接縫，而且風管橫向不得有接縫。對在劃線中無法避免損壞板材表面的，彩色涂層鋼板，應在受損處涂環氧樹脂漆；鍍鋅鋼板，應在受損處涂環氧鋅黃漆進行保護。

4.7.  板材裁剪下料

鍍鋅板裁剪下料時，盡可能采用機械方法裁剪，這樣可減少對鍍鋅板面的損傷。為了能有效保護板面，應在剪板機臺面上鋪一層薄鍍鋅鋼板，這樣可防止板材下料中推進拉出磨損鍍鋅層。

4.8.  空調潔凈風管制作采用機械咬口，板材的拼接采用單咬口，矩形風管轉角采用聯合角。

4.9.  法蘭鉚接

法蘭與風管鉚接時，風管應稍小于法蘭，且法蘭螺栓孔和鉚釘孔間距不得大于100 mm，在排列法蘭螺栓孔時矩形法蘭盡可能四角設有螺栓孔，這樣有利于安裝后連接緊密。法蘭鉚接后，風管翻邊要平整，并緊貼法蘭平面，翻邊的寬度應≦7mm，且翻邊處的裂縫和法蘭與風管接合部四角處需涂抹密封膠。外法蘭與風管鉚接不得使用抽芯鉚釘，應使用鍍鋅鐵鉚釘。

4.10.  風管存放

預制成形的風管，暫不安裝，用塑料布將各管口包扎好，盡可能按系統編號在室內集中堆放。在室外堆放時，風管下部應放置墊木，上部用彩條布進行遮蓋風管，以防雨、防風沙及防暴曬。

4.11.  風管安裝前清洗

采購的鋼板表面涂有大量的油脂，若不清洗干凈，則會在運輸、安裝及以后的運行過程中染塵，長期使用過程中可能導致一次性的積塵飛揚，使過濾器前的空氣含塵濃度突然增大，這對高效過濾器的使用很不利，所以必須對潔凈風管、靜壓箱及系統部件在安裝前應進行全面清洗。清洗液應選用對板材表面無腐蝕，干燥后不產塵的。清洗的目的主要是除塵和脫脂。除塵可用清水或純水加中性清洗劑，脫脂的方法可用工業酒精。現場采用清水和工業酒精清洗風管清洗時先用清洗液清洗，然后用清水清洗，最后用干凈白布將水痕擦干，如暫時不安裝時，亦可自然風干，但干燥后需將風口封閉好。用白綢布檢驗。不變色為合格，合格以后的風管立即用塑料薄膜封口處理。

用工業酒精清洗風管，清洗完的風管用塑料薄膜封口處理

4.11.1.風管及部件安裝

（1）風管法蘭連接處的墊料，應選擇不透氣、不產塵、彈性好不易老化的材料，采用軟橡膠板等組成，墊料的厚度5～8mm，接頭處應加工成階梯形或榫接，嚴禁直接對接。

（2）潔凈室的送風采用頂板送風、底部回風的方式。潔凈風管安裝順序:從主管根部開始向前安裝，先安裝回風立管，在安裝水平風管。技術夾層內風管在地面組裝后，在未做保溫前應進行漏光檢查，根據現場情況可按內漏光或外漏光檢查，在漏光處需補密封膠，直至無漏光時方可進行保溫。

（3）對于等級較高的凈化系統的送回風總管和支干管，在地面組對后除做漏光檢查外，還應做漏風量測試。對于較小的系統可在風管安裝后測試，對于較大的系統盡可能在地面分段組裝后進行，這樣便于發現問題及時處理。

（4）潔凈風管的吊裝就位與普通風管一樣，所使用的吊桿、橫擔、膨脹螺栓、保溫風管下部墊木等符合有關規范和質量驗收標準。

4.11.2.風管安裝后的防護

風管安裝后，對暫不安裝的風管口、過濾器口等敞口部位，要及時用塑料布妥善包扎，防止現場灰塵進入已清洗后的風管內，從而造成管內二次污染。

凈化通風空調系統風管的預制與安裝涉及過程較長，環節較多，所以無論在哪個環節控制不嚴，都可能造成整個系統潔凈度達不到設計要求而返工。

4.12.  通風、空調設備安裝

4.12.1.本工程凈化空調系統采用“AHU+FFU”，即組合式空調機組和風機過濾器單元FFU是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。FFU一般用于大面積千級及百級潔凈區域。原因是在大面積區域使用FFU，當某個設備由于電機、電路故障無法正常工作時，室內仍可基本保證潔凈度，不影響車間生產。如果采用潔凈空調機組，電機壞了整個潔凈廠房。所以FFU適用與電子類千級以上連續生產潔凈廠房使用。

4.12.2.由于FFU本身只是通風過濾設備，并沒有新風補充及冷熱源，因此在使用時必必須由新風空調機組供新風。

4.12.3.風管與FFU連接時才有不產塵材質的柔性風管連接。預先做好尺寸準確配接管，經潔凈處理驗收后封好兩端，運到現場啟封安裝，敞口時間不得過長，并要確保污物灰塵不侵入風管或設備之內。

風淋室安裝	潔凈廠房

 

4.12.4.高效過濾器安裝

①、高效過濾器安裝前必須逐個檢查，過濾器濾紙應無裂縫針孔及其他損壞 (可用強光檢查)，其外型尺寸不允許超過±1㎜，對角線尺寸的誤差應不超過±1.5㎜。

②、高效過濾器必須待潔凈風管安裝完畢，并全面潔掃、吹洗和試車達到潔凈要求，經檢查后立即安裝就位。

③、過濾器與框架之間密封墊料應定位粘貼在過濾器邊框上，粘貼前先除凈過濾邊框上的污物。

④、安裝時應注意外框上的箭頭要與氣流萬向一致，不得裝反，不得用頭、手或工具等觸摸濾紙，以防損壞。

 

圍護結構施工技術

圍護結構采用75厚巖棉夾芯彩鋼板壁板，50厚夾芯彩鋼頂板。總面積約為6000平方，施工依據為《潔凈室施工及驗收規范》(GB50591-2010)。

5.1.潔凈板施工流程

5.2.彩鋼夾芯板安裝

5.2.1. 材料進場，潔凈廠房構件應按施工進度計劃要求，運抵安裝現場，輕搬輕放，避免劃傷，并分類整齊堆放，嚴加保管。

5.2.2. 測量放線，嚴格對照施工圖，現場測定軸線，標高尺寸，清理安裝現場，準確放出大樣。壁板安裝前必須嚴格放線，墻角應垂直交接，防止累積誤差造成壁板傾斜扭曲。壁板的垂直度偏差不大于0.2%。

5.2.3. 材料檢驗，潔凈室構配件材料安裝前，嚴格檢查其規格性能和完好程度，不合格或已損壞的構配件材料嚴禁安裝。

5.2.4. 現場清理，安裝現場必須隨時保持清潔，無積塵，并在施土過程中對零部件和場地隨時清掃、擦凈。

5.2.5. 結構連接，在施工安裝時，應首先進行吊件、鉚固件等主體結構和樓面、地面的連接件的固定。

5.3.施工操作

5.3.1. 按施工程序和金屬壁板安裝工藝節點具體要求進行施工。

5.3.2. 地馬槽與地坪的連接必須牢固，不得松動，用射釘間隔100mm左右將地馬槽固定在地面上。裝地馬槽之間的垂直連接處應做好拼縫、拼角連接或預留出R球的位置。

5.3.3. 壁板與辟板連接必須平整無凹凸，縫隙均勻，注膠平整光滑。安裝時要用吊線錘控制壁板的垂直度，安裝好的板材做好彼此之間的定，以防止壁板整體傾倒。

5.3.4. 安裝過程中不得撕下壁板表面塑料保護膜，禁止撞擊和踩踏板面。

5.3.5. 壁板上固定密閉窗，窗框四角鋁合金處理合縫、平整，并且在玻璃安裝之后用橡皮條將玻璃壓緊，還需將窗戶上部和兩邊橡皮條帶膠壓實，以防震動，橡皮條脫落。

5.3.6. 過濾器送風口、回風口，在壁板安裝時按照設計圖預留孔要求預留，避免施工現場開孔對壁板結構的破壞。

5.3.7. 根據設計要求，潔凈區內壁板與頂板相接形成的各個陰陽角均采用鋁合金圓弧型連接。

5.3.8. 密封膠應平直光滑，不應有間斷、外露、毛邊等現象。

5.3.9. 壁板安裝同時要配合好電工，將接地扁鐵與地面很好接觸，以消除靜電現象。

5.3.10.隱蔽驗收，在凈化室安裝的施工過程中必須隨時清掃灰塵，對掩蔽空間的清掃應做好清掃記錄。

5.3.11.成品保護，加強成品保護教育，對已安裝的成品或半成品嚴加保護，防止被污染及損壞。嚴格按順序施工，做到銜接合理，避免因返工造成材料浪費、成品受損。

5.3.12.現場管理，制定凈化區域施工管理制度，控制人物流造成的區域污染。

509單元一樓硅芯爐處潔凈板，通風管道施工完

 

環氧自流坪施工技術

6.1.環氧自流平采取一道底漆，一道中間層、一道自流平面漆的做法。

6.2.施工準備

6.2.1. 基層檢查及處理

6.2.2. 基層檢查包括混凝土含水率的測定、平整度的測定、強度的測定。

6.2.3. 含水率測定及其處理

a)  塑料薄膜法（ASTM4263）：把45cm×45cm塑料薄膜平放在混凝土表面，用膠帶紙密封四邊16小時后，薄膜下出現水珠或混凝土表面變黑，說明混凝土過濕，不宜涂裝。

b)  氯化鈣測定法：測定水分從混凝土中逸出的速度，是一種間接測定混凝土含水率的方法。測定密封容器中氯化鈣在72h后的增重，其值應≤46.8g/m2。

c)  混凝土含水率應小于9%，否則應排除水分后方可進行涂裝。排除水分的方法有以下幾種：

通風：加強空氣循環，加速空氣流動，帶走水分，促進混凝土中水分進一步揮發。

加熱：提高混凝土及空氣的溫度，加快混凝土中水份遷移到表層的速率，使其迅速蒸發，宜采用強制空氣加熱或輻射加熱。直接用火源加熱時生成的燃燒產物（包括水），會提高空氣的霧點溫度，導致水在混凝土上凝結，不宜采用。

降低空氣中的露點溫度：用脫水減濕劑、除濕器或引進室外空氣（引進室外空氣露點低于混凝土表面及上方的溫度）等方法除去空氣中的水汽。

6.2.4. 采用工業吸塵機進行地面的吸塵，清除表面的浮塵。

6.2.5. 采用高溫火焰噴槍和溶劑清洗的方式清除表面的油污。

6.2.6. 采用磨光機將表面拉毛，尤其是玻璃條的打磨處理。

6.3.   環氧地面施工要點

6.3.1. 地面清理，去除地表面的松動表層。

6.3.2. 環氧砂漿對地面進行修補。

6.3.3. 底漆施工：根據材料配比進行配制，在規定時間內上涂。

6.3.4. 中涂施工：中涂施工比較關鍵，將環氧色漿、固化劑與適量混合料徑的石英砂充分混合攪拌均勻。中涂層固化后用聚光燈進行地面檢查，發現不平整時，打磨平整，為面涂提供良好表面。

6.3.5. 面涂施工：將環氧色漿及固化劑混合均勻后，可鏝涂、刷涂、輥涂或噴涂，使其自流平，獲得平整均勻的表面涂層。面漆施工12小時后方可上人。

6.4.   施工驗收：表面平整光潔、色彩一致、無明顯色差。

6.4.1. 施工面整體無縫、不起灰。

6.4.2. 產品不開裂、不脫落、不起皮，和基層有良好的附著力。

6.4.3. 產品表面無針眼、孔洞、旋渦等不良好的現象。

6.4.4. 顏色均勻，光澤亮麗。

6.4.5. 產品表面硬化均勻。

6.4.6. 自流平地板達到產品說明書所列的標準。

6.5.注意事項：避免在低溫高濕條件下施工；雙組份混合后，應盡快在使用期內用完；涂裝完成后，應充分保養后，才能投入使用；應根據基材平整度狀況和使用要求，確定涂層厚度。地面平整度越差，應采用越厚的涂裝系統，涂層載重越大，涂層應越厚，如涂層過薄，使用過程中易損壞。

后處理裝置二樓硅芯爐處還氧自流坪施工完

 

 

潔凈廠房的系統調試及綜合性能檢測

為滿足甲方生產工藝要求，達到設計要求的潔凈度，對潔凈室進行檢測。檢測目的主要分為兩類，其一是竣工驗收的檢測，其二是檢查潔凈室是否運行正常的檢測。

7.1.竣工驗收檢測

7.1.1. 在潔凈室工程中關于竣工驗收的檢測分兩個階段，即竣工驗收和潔凈室綜合性能檢測。按照《GB50591-2010潔凈室施工及驗收規范》中規定竣工驗收需要檢測的項目如下：

1)  通風機數量及轉速的檢測

2)  風量測定及平衡

3)  室內靜壓檢測及調整

4)  自動調節系統的聯動運轉

5)  高效過濾器的檢漏

6)  室內潔凈度級別

總之，此時的檢測多重于調整，而且可能反復進行多次。

7.2.潔凈室綜合性能評價檢測是在竣工驗收測定之后進行，需建設、設計、施工單位均需在現場配合，檢測均在空態或靜態下進行的。具體檢測項目如下：

7.2.1. 總送風量、總回風量、新風量、排風量

7.2.2. 潔凈工作區的潔凈度、氣壓值

7.2.3. 室內溫度、濕度

7.2.4. 室內照度、噪音

7.3.主要檢測項目分析

7.3.1. 基本項目的重要性：國標GB50073-2013中規定：潔凈度、正壓、風速或風量是三個基本的必測項目。

7.3.1.1.潔凈室需要密閉和維持正壓。作為潔凈室圍護物的密閉性是必須的，而且在潔凈室內必須維持正壓，也就是說有不嚴密處或開門時，空氣只能由內往外流，外界含塵空氣不能向潔凈室內流，很難保證潔凈度，所以在系統調試正確后，首先檢查正壓是否存在。

7.3.1.2.通入潔凈室的風必須經過凈化，這是形成潔凈室的最主要因素。新風進入潔凈室需要經過初效、中效和高效三級過濾，進風基本不含0.5um以上的粒子。過濾器的安裝會發生泄漏，過濾器在運輸過程中也會發生不易察覺的損壞。所以對過濾器進行抽檢是必要的。

7.3.1.3.   凈化空氣必須換氣充足。在潔凈室運轉中，工作人云本身和操作過程中均會產生粒子，所以單有進風過濾是不夠的，潔凈室內所產生的粒子是被不含敏感粒子（或極少）的潔凈空氣所稀釋（亂流），當所產生的粒子被稀釋到一定程度隨排風流走的時候，就達到了一種動態平衡，因此才會有級別越高的亂流潔凈室換氣次數越大（稀釋越充分）的要求。

7.4.測試前的準備

對潔凈室內及其凈化空調系統進行徹底的檢查與清掃。對因輸送大風量、大風速的空氣在一個出口輸出兒可能會引起的凈化車間內空氣紊亂，塵土飛揚污染本身和其它風管系統等，可采取一定的技術措施來防止，即將風管作為負壓段，送風口作為正壓段，循環吹掃，并將空調器中的有關部件拆下。

高效過濾器應用密封袋封裝，安裝時方可啟封。為防止運輸過程中無法預料的損壞，啟封后首先進行逐件透光檢查，并在現場設簡易檢測裝置，如靜壓箱、管道、風機，對高效過濾器逐個進行塵埃粒于掃描，凡不符合技術指標的均不予裝用，以確保工程質量，減少返修工程量。

7.5.潔凈度測試方法:

7.5.1. 嚴格按照GB50591-2010《潔凈室施工及驗收規范》。

7.5.2. 潔凈度的測試:采用光學粒子計數器，選取適當的測點，取樣位置可在作業區的正上方，按每立萬英尺內的0.5Um及以上的塵粒數確定。

7.5.3. 溫濕度的測試：采用溫濕傳感器可分別測試得溫度和濕度，傳感器應裝于作業區的附近，測得的數據可在中央管理機上顯示。

7.5.4. 室內壓力的測試：使用擴散形硅的壓力傳感器上得壓力，輸出信號一般為4—20mA，這種輸出信號對于測定壓力具有線性。壓力數值可在中央管理機上顯示。

7.5.5. 氣流速度的測試，使用風速儀測定作業區的送風面上的風速，可計層流工作區域的平均風速及其均勻性。

參考文獻

1．  GB50243—2002《通風與空調工程施工質量驗收規范》

2．  GB50242—2002《建筑給水排水與采暖工程施工質量驗收規范》

3．  GB50591-2010《潔凈室施工及驗收規范》

4．  GB50073—2013《潔凈廠房設計規范》

5．  陳霖新等《潔凈廠房設計與施工》化學工業出版社2003年

6．  宋功業等《潔凈廠房工程施工技術及質量控制》機械工業出版社2009