電子行業潔凈車間的靜電防護問題

電子行業潔凈車間的靜電防護問題

     電子相關行業潔凈車間中由于靜電引起的事故屢有發生，因此潔凈車間的防靜電能力如何已成為

評價其質量的一個不可忽視的方面。 

所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一）電荷等量的均勻的電中性狀態，而使電荷過剩，

物體呈帶電狀態，由于這些電荷平時是不流動的，故稱靜電。

                    
 
在潔凈車間內靜電導致的事故有以下幾方面

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1．靜電引起的靜電電擊，引起人的不安全和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒

又致傷)；
 
2．靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料

袋內，搖晃數次后，與非門柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十

分靈敏；
 
3．靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；
 
4．靜電放電的發光可導致照相膠片等感光破壞；
 
5．靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；

                  
 
        靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人

體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所以

這些都可能產生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產生后不易流動，因

此表現為越容易帶電。靜電問題所以在潔凈車間中特別嚴重，是因為不但在潔凈車間中具備前述產生靜電

的多種工藝因素，而且因為潔凈車間中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的

電阻率，都容易產生靜電和集聚靜電，在潔凈車間的靜電災害未被重視以前。