凈化工程潔凈技術發展概述

凈化工程潔凈技術是一個新興的科學技術領域，是跨學科、跨部門、跨學科的綜合性科技新分支。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。凈化工程指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。凈化車間優點：構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。它與許多行業和學科密不可分，具有自己獨特的特點。我們必須學習和吸收各行業、各學科的成就、經驗和優勢。善于根據自身特點，充分發揮和積極調動各領域的科技人員。

與其他高技術一樣，凈化工程技術的誕生和初步應用服務于軍事目的。在第二次世界大戰中，一些槍支、坦克、飛機等使用的儀器經常失效。開發商意識到儀器生產和裝配環境中的空氣中粒子是罪魁禍首，于是工業潔凈室誕生了。原來的工業清洗室比較簡單。隨著原子武器研究和生化武器研究的發展，高效空氣過濾器在20世紀40年代早期得到了成功的開發和應用。20世紀60年代初，出現了單向流動潔凈室，這些設備和技術的誕生成為潔凈技術發展的里程碑，為現代潔凈技術奠定了基礎。

潔凈工程原來的潔凈標準是由美國制定的，也是使用最廣泛的。單位是帝國制度。允許粒子的最大數量為每立方英尺空氣0.5微米粉塵。另一種是國際單位，是通常使用的對值，即每立方米空氣中允許的最大粒子數0.5μm塵埃粒子。

雖然現代工業潔凈室仍然使用懸浮顆粒物作為主要控制對象，但在某些過程中，還提出了對空氣中分子污染物的控制要求。因此，空氣凈化技術的關鍵設備也從單顆粒過濾器發展成可以吸收有害氣體物質的化學過濾器。

微電子工業是現代工業潔凈室應用的代表。主要產品有大型集成電路和平板顯示器。半個多世紀以來，集成電路發展迅速。隨著集成度的提高，構件的線寬不斷縮小。因此，氣溶膠顆粒的控制粒徑越來越小。一般認為控制粒徑應為線寬的1/10-1/3，但由于線寬越來越小，這一要求也很難滿足。微電子產品的快速發展對傳統潔凈技術提出了巨大挑戰，也促進了現代潔凈技術的發展。工業潔凈室主要由空氣中的懸浮顆粒物控制，為精密機械和電子產品行業提供所需的生產環境。

20世紀60年代初是中國潔凈技術發展的開端，大約比國外晚了十年。在中國，這是一個非常特殊和困難的時期。一方面，在經歷了三年的自然災害和經濟基礎薄弱之后，在科學和技術方面沒有與先進國家直接接觸，也沒有必要的科學和技術數據、信息和樣本。在這些困難的條件下，中國的潔凈技術工人圍繞著精密機械、航空儀器和電子工業的需要，開始了自己的創業之旅。