電子廠房無塵室凈化車間的設計要點

不同級別電子廠電子廠凈化車間的半導體、微電子、光電技術、光學儀器、PCB、食品、模具等工程。按行業標準要求，凈化級別從 10-30 萬級。

一、凈化車間結構材料：

1、電子廠凈化車間墻、頂板材料一般采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

2、地面采用環氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。

3、凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

1）工業廠房潔凈工程、電子廠房潔凈工程、化妝品廠房凈化工程、光纖通訊廠房潔凈工程、絲印廠房潔凈工程、網印廠房潔凈工程；

2）GMP 廠房凈化工程、藥廠潔凈工程、食品廠潔凈工程、飲用水廠罐裝車間潔凈工程；

3）實驗室工程、無菌實驗室、生物實驗室、實驗室凈化工程整體規劃設計和施工；

4）承攬中央空調、凈化領域工程設備的安裝、調試及維修、保養；

5）廠房、車間、實驗室空調潔凈工程、無塵室工程、無塵室改造工程；

6）工業廠房內部隔墻工程、吊頂工程、地面工程、其他零散工程等。

單向流電子廠電子廠凈化車間（1-100 級）

1-100 級的電子廠凈化車間，均采用單向流的氣流組織送風方式，即電子廠電子廠凈化車間內的氣流在同一截面的任意一點，氣流的方向和速度均保持一致，這樣可以使清潔空氣象“活塞”一樣，將室內的塵埃粒子以最快的速度帶走。

要實現“活塞”的效果，高效過濾器需要布滿屋頂才可實現單向流的氣流組織方式。非單向流電子廠凈化車間（1000-10 萬級）

1000-10 萬級電子廠凈化車間的氣流組織方向和 100 級以上的電子廠電子廠凈化車間不同，室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動的，伴有回流或渦流，它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現凈化。不同的凈化等級，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現的。

1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造 。

2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型 PF 發泡塑膠板。

4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔

二、設計施工安裝準備有哪些？

1. 收集與生產工藝相關的數據和資料室內溫濕度的基數和精度，需要與工藝設計人員反復確定并定下合理的參數，不要一味追求高標準，因為基數和精度對投資和運行費用有極大的影響，但滿足工藝的基本要求是必要的。

2. 收集工程所在地的氣象資料和周圍環境的資料

(1)室外設計參數除一年四季的氣象資料外，還需要收集當地的環境，如：含塵濃度和會影響產品和生產工藝的各種氣體的濃度。

(2)工程周圍鐵路、碼頭、飛機場等交通樞紐和交通要道的距離。工程周圍的工廠。倉庫。堆場，最好遠離這些場所，如無法遠離，要采取相應的措施，如：新風入口加裝過濾器級別根據測得的數據來定，還要考慮是否有必要加裝化學過濾器。

(3)收集生產過程中會產生的廢熱和有毒有害的廢氣的相關資料

a. 確定廢熱氣體的溫度和排風的量

b.有毒有害氣體的濃度、溫度和危害程度及排風的風量，并要考慮處理的對策。

(4)收集生產工藝對電、水和特種氣體、大宗氣體的要求

(5)收集工程建筑、結構和工藝設計的平剖面圖

a. 工藝設計，電子廠凈化車間裝修用于的工藝種類繁多，但是，總的原則是生產工藝設備的安裝和維修，生產工藝的流程，操作程序，人員流動路線和物料傳輸布置時，應避免發生氣流干擾和交叉污染的發生。

b.在滿足生產工藝和微震的控制，噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度要求高的電子廠電子廠凈化車間裝修(區)宜靠近空調機房布置，空氣潔凈度等級相同的工序或工作(區)宜集中布置。

c.應根據工藝設計要求設置運輸、安裝、維修的通道或檢修門。

d.人員出入電子廠凈化車間裝修應該設置人員凈化裝置。

e.物料，設備出入電子廠凈化車間裝修要設置凈化設施，設置氣閘室或傳遞窗。

f.潔凈區域內設置真空泵時，應有除油裝置，尾氣排放應接至室外，傳輸有可燃氣體的系統，其濃度超過爆炸下限 20%時應有尾氣處理裝置，應去除或稀釋可燃氣體的成份，傳輸易燃自燃化學品或高濃度氧氣時，應采用不燃的泵油，并配置氮氣吹掃控制閥，并且與工藝設備的操作系統聯鎖。

三、一般電子廠電子廠凈化車間基本工作原理及凈化參數

凈化原理 氣流→初效空氣處理→空調→中效空氣處理→風機送風→凈化管道→高效送風口→電子廠電子廠凈化車間→帶走塵埃（細菌） → 回風夾道→新風、初效空氣處理。重復以上過程，即可達到凈化目的。技術參數換氣次數：十萬級 10－15 次/小時；萬級 15－25 次/小時；千級 50－52 次/小時;百級操作臺斷面風速 0.25-0.35m/s。

凈化參數

換氣次數：100000 級≥15 次；10000 級≥20 次；1000≥30 次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10 級、100 級 0.3－0.5m/s；

溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。

溫度 45－65％；GMP 粉劑車間濕度在 50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的 10％－30％；照度 300LX 壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa。

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；相對濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風補充量：總送風量的 20％－30％；照度：≥300Lux。

電子廠凈化車間裝修施工項目：

1、隔墻板：包括窗戶、門,材料是彩鋼板，但彩鋼板的夾芯有很多種。

2、天花吊頂：包括吊桿、綱梁、天花板格子梁，材料一般是：彩鋼板與無塵板。

3、照明器具：采用無塵專用燈具。

4、電子廠凈化車間制作主要包括天花吊頂、空調系統、隔斷、地面、以及照明燈具。

5、地板：高架地板或防靜電 PVC 地板或環氧樹脂地板。

6、空調系統：包括主機、風管、過濾器系統、FFU 等。

四、電子廠凈化車間結構設計概況與凈化要求

電子廠凈化車間是生產 VCD 和 DVD 電子元件的關鍵部分,在建筑平面上被安排在廠房的中間(如圖 1)。廠房為鋼結構,生產車間為單層建筑,辦公部分為兩層建筑,電子廠凈化車間的吊頂高度為 3.3m,層高為 811m。電子廠凈化車間吊頂與屋面之間,敷設送風管、回風管、排風管等多種工藝管道和高效過濾器,吊頂由內夾聚氨脂塑料泡沫層的夾心彩鋼板組裝而成,上人吊頂與墻面之間的縫隙用密封膠填密,地面到吊頂采用埃特板構成回風井道,并和回風管連接。第 1、第 2 車間面積各為 2160m2 工作人員各為 400 人,第 3 車間面積 1080m2,200 人;各車間,檢測室,衛生室和吹淋通道的溫度要求為 23℃±2℃,濕度 60%±10%,室內正壓大于 10Pa,吹淋通道凈化級別為 100 級,其余為 10 萬級。

凈化空調系統的設計：

該廠的電子廠凈化車間,最大單間面積 2160m2,空間大,風量大,相鄰空調機房的噪聲處理困難以及吊頂內的管線多,為此凈化空調分設三個獨立的系統。

每個凈化系統均設初效、中效、高效過濾器。初效過濾器安裝在新風管上,中效過濾器安裝在空調柜內,高效過濾器安裝在吊頂上 G———室內發塵量,粒/(m3 ?min) M———大氣含塵濃度,粒/Ln———換氣次數,次/hS———回風量和全風量的比ηn———新風通路上過濾器總效率ηr———回風通路上過濾器總效率電子廠電子廠凈化車間新風量的確定,主要從三個方面考慮;第一、室內工作人員所需的新風量,每人按 40m3/h 考慮。第二、車間內的排氣量。第三、保持正壓時的門窗縫隙的漏風量。本工程選擇新風量占全風量的 12%至 15%。正壓采用余壓閥控制。各車間的送風、排風、新風的參數。

空氣處理：為了滿足各車間的潔凈要求,設計中把電子廠凈化車間分成三個系統;第一、第二車間各設一個系統,第三車間、實驗室、檢測室、衛生室為一個系統。空氣處理機由回風段、致冷段、加熱段、加濕段、混合段、風機段、中效段、送風段組成消聲處理：

在空調設計中噪聲是一個很重要的問題,對于大面積的電子廠凈化車間,它的送風量比一般的空調系統要大得多,且送風的風壓也高達 116kPa,因此通風機的電機容量也比較大,達90kPa,通風機的聲功級為 115dB。消聲技術在本工程中尤為突出。通過減噪計算,配置相應的消聲器和消聲小室,可達到規范所要求的室內噪聲標準。工程實踐證明,凈化工程的消聲處理不一定要用價格昂貴的微穿孔板消聲器;在設計中計算出各倍頻中心頻率的噪聲量后,針對其超標的頻率噪聲,采用廉價的不銹鋼板網和中效無紡布、多孔材料制作出消聲器,同樣能達到消聲的目的,節約工程投資。另外,高效過濾器和中效過濾器本身也是一種很好的消聲器,在設計計算中應考慮它們的消聲量。

五、電子廠凈化車間的地面通常采用哪些材料

電子廠凈化車間地面通常用 PVC 防靜電地板、環氧樹脂地坪漆比較多。電子廠凈化車間地面常用材料：

01 工程名稱:PVC 地板產品特點:

1、耐磨、耐腐蝕，性能穩定 2、裝飾效果好，施工方便

3、基材為半硬質的 PVC 塑料 4、不產生火花和阻燃施工工藝: